{"id":214,"date":"2014-01-17T13:05:06","date_gmt":"2014-01-17T09:05:06","guid":{"rendered":"http:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/?page_id=214"},"modified":"2022-07-26T12:33:17","modified_gmt":"2022-07-26T08:33:17","slug":"methods","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/ua\/4-%d0%bf%d0%be%d0%bb%d1%96%d1%84%d1%83%d0%bd%d0%ba%d1%86%d1%96%d0%be%d0%bd%d0%b0%d0%bb%d1%8c%d0%bd%d1%96-%d0%b2%d0%b0%d0%ba%d1%83%d1%83%d0%bc-%d0%bf%d0%bb%d0%b0%d0%b7%d0%bc%d0%be%d0%b2%d1%96-%d1%82-2\/methods\/","title":{"rendered":"\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u0442\u0430 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u043d\u0430\u043d\u043d\u044f"},"content":{"rendered":"\n<p><\/p>\n\n\n\n<p><\/p>\n\n\n\n<p><\/p>\n\n\n\n<p><\/p>\n\n\n\n<p><\/p>\n\n\n<h2 style=\"text-align: center;\"><strong>\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 <i>A<\/i><i>vinit <\/i>\u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0456\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432<\/strong><\/h2>\n<p><strong>\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u0456 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u043d\u0430\u043d\u043d\u044f<\/strong><\/p>\n<p>\u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043d\u043e\u0432\u0438\u0445 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0456\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0448\u0430\u0440\u043e\u0432\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0456\u0439\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 Avinit \u043d\u0430 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d, \u0440\u0456\u0436\u0443\u0447\u0456 \u0456\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0438 \u0437\u0434\u0456\u0439\u0441\u043d\u044e\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0432 \u041d\u0422\u0426 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u043d\u0430\u043d\u043d\u0456 Avinit \u0437 \u0432\u0438\u043a\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043d\u043d\u044f\u043c \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0439, \u0440\u043e\u0437\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0445 \u0443 \u041d\u0422\u0426 \u00ab\u041d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u044f\u00bb, \u044f\u043a\u0435 \u0434\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0454 \u0440\u0435\u0430\u043b\u0456\u0437\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u0456 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 (\u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0456\u043c\u0456\u0447\u043d\u0456 CVD, \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c- (\u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c-\u0434\u0443\u0433\u043e\u0432\u0456, \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0456), \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0438 \u0456\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0441\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u044f \u0442\u0430 \u0456\u043e\u043d\u043d\u043e\u0457 \u043e\u0431\u0440\u043e\u0431\u043a\u0438), \u043e\u0431&#8217;\u0454\u0434\u043d\u0430\u043d\u0456 \u0432 \u043e\u0434\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0447\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0446\u0438\u043a\u043b\u0456.<\/p>\n<p><b>\u00a0 \u00a0 \u00a0 \u00a0 \u00a0 \u00a0<\/b><em>\u00a0 \u00a0 \u00a0 <\/em><em><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-2834  aligncenter\" src=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/\u0431\u043b\u043e\u043a-\u0441\u0435\u043c\u0430-\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438-\u0410\u0412\u0418\u041d\u0418\u0422-300x147.jpg\" alt=\"\" width=\"469\" height=\"230\" srcset=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/\u0431\u043b\u043e\u043a-\u0441\u0435\u043c\u0430-\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438-\u0410\u0412\u0418\u041d\u0418\u0422-300x147.jpg 300w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/\u0431\u043b\u043e\u043a-\u0441\u0435\u043c\u0430-\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438-\u0410\u0412\u0418\u041d\u0418\u0422-1024x502.jpg 1024w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/\u0431\u043b\u043e\u043a-\u0441\u0435\u043c\u0430-\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438-\u0410\u0412\u0418\u041d\u0418\u0422-1536x753.jpg 1536w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/\u0431\u043b\u043e\u043a-\u0441\u0435\u043c\u0430-\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438-\u0410\u0412\u0418\u041d\u0418\u0422-2048x1004.jpg 2048w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/\u0431\u043b\u043e\u043a-\u0441\u0435\u043c\u0430-\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438-\u0410\u0412\u0418\u041d\u0418\u0422-1200x588.jpg 1200w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/\u0431\u043b\u043e\u043a-\u0441\u0435\u043c\u0430-\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438-\u0410\u0412\u0418\u041d\u0418\u0422-1980x971.jpg 1980w\" sizes=\"(max-width: 469px) 100vw, 469px\" \/> <\/em><\/p>\n<p style=\"text-align: left;\"><em><strong>\u0411\u043b\u043e\u043a-\u0441\u0445\u0435\u043c\u0430<\/strong> <strong>\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 Avinit<\/strong><\/em><\/p>\n<p>\u0420\u0435\u0454\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0456\u044f \u0442\u0430 \u043a\u0435\u0440\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0438\u043c\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0447\u043d\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456\u0432 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0437\u0434\u0456\u0439\u0441\u043d\u044e\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u0437 \u0432\u0438\u043a\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043d\u043d\u044f\u043c \u0441\u043f\u0435\u0446\u0456\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0457 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e\u0457 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0438. \u0426\u0435 \u0434\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0454 \u0432\u0438\u0431\u0438\u0440\u0430\u0442\u0438 \u043d\u0430\u0439\u0431\u0456\u043b\u044c\u0448 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0456 \u043f\u0440\u0438\u0439\u043e\u043c\u0438 \u0442\u0430 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u043e\u0431\u0440\u043e\u0431\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456 \u0442\u0430 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0430\u0431\u043e \u0457\u0445 \u043a\u043e\u043c\u0431\u0456\u043d\u0430\u0446\u0456\u0457 \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u044f\u0433\u043d\u0435\u043d\u043d\u044f \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u0456\u043a\u043e-\u0435\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0456\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0443 \u043f\u0456\u0434 \u0447\u0430\u0441 \u0432\u0438\u0440\u0456\u0448\u0435\u043d\u043d\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0432\u0434\u0430\u043d\u044c.<\/p>\n<h2 style=\"text-align: center;\" align=\"center\"><strong>\u0410\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0437\u0431\u043e\u0440\u0443 \u0434\u0430\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0456\u043d\u043d\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0447\u043d\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432.<\/strong><\/h2>\n<p>\u0420\u043e\u0437\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043d\u0430 \u0442\u0430 \u0432\u0438\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0456\u043d\u043d\u044f \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0454 \u0441\u0443\u0442\u0442\u0454\u0432\u0435 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0442\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0438\u0442\u044c \u043d\u0435\u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u0435 \u0442\u0430 \u0437\u043d\u0430\u0447\u043d\u0435 \u0437\u0431\u0456\u043b\u044c\u0448\u0435\u043d\u043d\u044f \u044f\u043a \u0448\u0432\u0438\u0434\u043a\u043e\u0434\u0456\u0457 \u0442\u0430 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0456, \u0442\u0430\u043a \u0456 \u043a\u0456\u043b\u044c\u043a\u043e\u0441\u0442\u0456 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0456\u0432 \u0432\u0438\u043c\u0456\u0440\u044e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f\/\u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0456\u043d\u043d\u044f.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u0434\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u043d\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430\u0445 Avinit \u0432\u0438\u043a\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u0443\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0437\u0431\u043e\u0440\u0443 \u0434\u0430\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u043a\u0435\u0440\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0432 \u043d\u0430\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u0456\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0456\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0456\u0457:<\/p>\n<ul>\n<li>6 \u2013 \u043c\u0456\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u043e\u0440\u043d\u0438\u0445 \u0431\u043b\u043e\u043a\u0456\u0432 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0456\u043d\u043d\u044f \u043d\u0430 \u0432\u0441\u0456\u0445 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0456\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 \u0432\u0443\u0437\u043b\u0430\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438, \u043a\u043e\u0436\u0435\u043d \u0437\u0430\u0431\u0435\u0437\u043f\u0435\u0447\u0443\u0454 8 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0456\u0432 10 \u0440\u043e\u0437\u0440\u044f\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0410\u0426\u041f \u0456 \u0434\u043e 40 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0456\u0432 \u0446\u0438\u0444\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e (\u0440\u0435\u043b\u0435\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e) \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0456\u043d\u043d\u044f, 2 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0438 \u0428\u0406\u041c, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0436 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u0456 \u0432\u0445\u043e\u0434\u0438, \u0432\u0445\u043e\u0434\u0438 \u043b\u0456\u0447\u0438\u043b\u044c\u043d\u0438\u043a\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u0433\u043e\u0434\u0438\u043d\u043d\u0438\u043a \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0447\u0430\u0441\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u043d\u0456\u0437\u0430\u0446\u0456\u0457 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456\u0432 (\u0434\u0436\u0435\u0440\u0435\u043b\u0430 \u0436\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044f , \u0432\u0456\u0434\u043a\u0430\u0447\u0443\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043d\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a\u0443 \u0433\u0430\u0437\u0456\u0432, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043a\u0435\u0440\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f). \u041c\u0456\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u043e\u0440\u043d\u0456 \u0431\u043b\u043e\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0436\u0443\u0442\u044c \u0437\u0434\u0456\u0439\u0441\u043d\u044e\u0432\u0430\u0442\u0438 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0456\u043d\u043d\u044f \u044f\u043a \u043f\u043e \u0437\u0430\u043a\u043b\u0430\u0434\u0435\u043d\u043e\u0457 \u0432 \u043d\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u0456 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0456\u043d\u043d\u044f, \u0442\u0430\u043a \u0456 \u0432\u0438\u043a\u043e\u043d\u0443\u044e\u0447\u0438 \u043a\u043e\u043c\u0430\u043d\u0434\u0438 \u0432 \u043f\u043e\u043a\u0440\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0456 \u0432\u0456\u0434 \u043a\u043e\u043c\u043f&#8217;\u044e\u0442\u0435\u0440\u0430 (\u043d\u0430\u043f\u0456\u0432\u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u043d\u0435 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0456\u043d\u043d\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u0456\u0434\u043f\u0440\u0430\u0446\u044e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0447\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456\u0432).<\/li>\n<li>2 \u2013 8-\u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 12 \u0431\u0456\u0442\u043d\u0438\u0445 \u0410\u0426\u041f \u0434\u043e 100 000 \u0432\u0438\u0431\u0456\u0440\u043e\u043a \u0437\u0430 \u0441\u0435\u043a\u0443\u043d\u0434\u0443 (\u0437\u0431\u0456\u0440 \u0442\u0430 \u043e\u0431\u0440\u043e\u0431\u043a\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0456\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456\u0432)<\/li>\n<li>1-1-\u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0439 16 \u0431\u0456\u0442\u043d\u0438\u0439 \u0410\u0426\u041f \u0434\u043e 1 000 000 \u0432\u0438\u0431\u0456\u0440\u043e\u043a \u043d\u0430 \u0441\u0435\u043a\u0443\u043d\u0434\u0443 (\u043a\u0430\u043b\u0456\u0431\u0440\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0442\u0430 \u043e\u0431\u0440\u043e\u0431\u043a\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u043d\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u0447\u0430\u0441 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456\u0432)<\/li>\n<li>1-8 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0439 \u0431\u043b\u043e\u043a \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0433\u043e \u043a\u0435\u0440\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u043d\u0430\u0439\u0431\u0456\u043b\u044c\u0448 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u043d\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0431\u0435\u0437\u043f\u043e\u0441\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u044c\u043e \u0432\u0456\u0434 \u043a\u043e\u043c\u043f&#8217;\u044e\u0442\u0435\u0440\u0430.<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u041e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440 \u043c\u0430\u0454 \u043c\u043e\u0436\u043b\u0438\u0432\u0456\u0441\u0442\u044c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0433\u043b\u044f\u0434\u0430\u0442\u0438 \u0434\u0430\u043d\u0456 \u044f\u043a \u0443 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0447\u0430\u0441\u0456, \u0442\u0430\u043a \u0456 \u0437 \u0430\u0440\u0445\u0456\u0432\u0443, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0436 \u043a\u0435\u0440\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u0438\u043c\u0438 \u0439\u043e\u043c\u0443 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0456\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u043c\u0438 \u043c\u043e\u0436\u043b\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434: \u0442\u043e\u0447\u043d\u0456\u0441\u0442\u044c \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0456\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0456\u0430\u043b\u043e\u043c \u043f\u0456\u0434\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438 \u0431\u043b\u0438\u0437\u044c\u043a\u043e 5 \u0412 \u0432 \u0456\u043d\u0442\u0435\u0440\u0432\u0430\u043b\u0456 0-2000\u0412 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u043e\u043c \u0434\u0443\u0433\u0438 1 \u0410 \u0432 \u0456\u043d\u0442\u0435\u0440\u0432\u0430\u043b\u0456 30-200\u0410). \u0410\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0456\u0447\u043d\u0456 \u043c\u043e\u0436\u043b\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0456 \u0437 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u0456\u043d\u0448\u0438\u0445 \u0437\u0443\u043c\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0445 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0456\u0439, \u044f\u043a\u0456 \u043c\u043e\u0436\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0431\u0443\u0434\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u0437 \u043d\u0430\u0431\u043e\u0440\u0443 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0456\u0432.<\/p>\n<p>\u0420\u043e\u0437\u043c\u0435\u0436\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u0438\u0445 \u043e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0443 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0456\u0432 \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u0430\u0454 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0456 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0438 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0456\u043d\u043d\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0443 \u0434\u043e \u0440\u0435\u0441\u0443\u0440\u0441\u0456\u0432 OS Linux.<\/p>\n<div id='gallery-1' class='gallery galleryid-214 gallery-columns-3 gallery-size-thumbnail'><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/2-8.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"150\" height=\"150\" src=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/2-8-150x150.jpg\" class=\"attachment-thumbnail size-thumbnail\" alt=\"\" aria-describedby=\"gallery-1-2836\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-1-2836'>\n\t\t\t\t\u0423\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0456\u043d\u043d\u044f \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u0438\u043c \u0432\u0438\u043f\u0440\u044f\u043c\u043b\u044f\u0447\u0435\u043c\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon portrait'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/3-7.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"150\" height=\"150\" src=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/3-7-150x150.jpg\" class=\"attachment-thumbnail size-thumbnail\" alt=\"\" aria-describedby=\"gallery-1-2837\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-1-2837'>\n\t\t\t\t\u041f\u0430\u043d\u0435\u043b\u044c \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0456\u043d\u043d\u044f \u0432\u0456\u0434\u043a\u0430\u0447\u0443\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043e\u044e\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/protokol.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"150\" height=\"150\" src=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/protokol-150x150.jpg\" class=\"attachment-thumbnail size-thumbnail\" alt=\"\" aria-describedby=\"gallery-1-2835\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-1-2835'>\n\t\t\t\t\u041f\u0440\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043b \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e\u0457 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0438 \u0440\u0435\u0454\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0456\u0457 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0447\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0456\u0432\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure>\n\t\t<\/div>\n\n<h2 style=\"text-align: center;\"><strong>\u00a0<\/strong>\u041e\u0441\u043e\u0431\u043b\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0456 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u043d\u0430\u043d\u043d\u044f \u0442\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 Avinit<\/h2>\n<p>\u0417\u043d\u0430\u0447\u043d\u0435 \u0437\u0431\u0456\u043b\u044c\u0448\u0435\u043d\u043d\u044f \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0443 \u0434\u0436\u0435\u0440\u0435\u043b, \u0449\u043e \u0437\u0430\u0431\u0435\u0437\u043f\u0435\u0447\u0443\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u0456\u0441\u0442\u044e \u0432\u0438\u043a\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u0443\u0432\u0430\u043d\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0456\u0432, \u0434\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0454 \u043e\u0442\u0440\u0438\u043c\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0437 \u0431\u0443\u0434\u044c-\u044f\u043a\u0438\u0445 \u0435\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0456\u0432 \u0456 \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u0456\u0432, \u0442\u0443\u0433\u043e\u043f\u043b\u0430\u0432\u043a\u0438\u0445 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0456\u0432, \u043a\u0430\u0440\u0431\u0456\u0434\u0456\u0432, \u043d\u0456\u0442\u0440\u0438\u0434\u0456\u0432, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043e\u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0456\u0447\u043d\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0456\u0439 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0456 \u0442\u0443\u0433\u043e\u043f\u043b\u0430\u0432\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456\u0432 \u0456 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0456\u0432, \u0449\u043e \u0441\u0443\u0442\u0442\u0454\u0432\u043e \u0440\u043e\u0437\u0448\u0438\u0440\u044e\u0454 \u043c\u043e\u0436\u043b\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0456 \u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u043e\u0432\u043e \u043d\u043e\u0432\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0432\u0443\u0437\u043b\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439 \u0440\u0456\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044f, \u0449\u043e \u043f\u0440\u0430\u0446\u044e\u044e\u0442\u044c \u0432 \u0435\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 \u0443\u043c\u043e\u0432\u0430\u0445 \u0437\u0430 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043e\u044e, \u0432\u043f\u043b\u0438\u0432\u043e\u043c \u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0438\u0432\u043d\u0438\u0445 \u0441\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0438\u0449, \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0456\u0447\u043d\u0438\u0445 \u043d\u0430\u0432\u0430\u043d\u0442\u0430\u0436\u0435\u043d\u044c.<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u0438 \u043e\u0442\u0440\u0438\u043c\u0430\u043d\u043d\u0456 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 Avinit \u0437\u0430\u0431\u0435\u0437\u043f\u0435\u0447\u0443\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u043c\u043e\u0436\u043b\u0438\u0432\u0456\u0441\u0442\u044c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u0443 \u0434\u043e \u043d\u0430\u043d\u043e\u0434\u0456\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0435\u0430\u043b\u0456\u0437\u0430\u0446\u0456\u0457 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456\u0432 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0431\u0430\u0433\u0430\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043d\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e- \u0442\u0430 \u043c\u0456\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0456\u0437 \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u0438\u043c\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438, \u0449\u043e \u043c\u0456\u0441\u0442\u044f\u0442\u044c \u0432\u0435\u043b\u0438\u043a\u0443 \u043a\u0456\u043b\u044c\u043a\u0456\u0441\u0442\u044c \u0448\u0430\u0440\u0456\u0432 \u0440\u0456\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u0445\u0456\u043c\u0456\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u0443 (\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0432\u0456, \u043d\u0456\u0442\u0440\u0438\u0434\u043d\u0456, \u043a\u0430\u0440\u0431\u0456\u0434\u043d\u0456, \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u0456 \u0442\u0430 \u0456\u043d.) \u0437\u0430\u0432\u0442\u043e\u0432\u0448\u043a\u0438 \u0432\u0456\u0434 \u043e\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u044c \u0434\u043e \u0441\u043e\u0442\u0435\u043d\u044c. . \u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0448\u0430\u0440\u0456\u0432 \u0437\u0430\u0431\u0435\u0437\u043f\u0435\u0447\u0443\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u043c\u0438 \u0443\u0437\u0433\u043e\u0434\u0436\u0435\u043d\u0438\u043c\u0438 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0430\u043c\u0438 \u0440\u043e\u0431\u043e\u0442\u0438 \u0434\u0436\u0435\u0440\u0435\u043b \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0438 (\u044f\u043a PVD, \u0442\u0430\u043a \u0456 CVD), \u0440\u043e\u0431\u043e\u0447\u0438\u0445 \u0433\u0430\u0437\u0456\u0432 (\u0430\u0440\u0433\u043e\u043d, \u0430\u0437\u043e\u0442, \u0432\u0443\u0433\u043b\u0435\u0446\u044c- \u0456 \u043a\u0438\u0441\u043d\u0435\u0432\u043c\u0456\u0441\u043d\u0456 \u0433\u0430\u0437\u0438) \u0442\u0430 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0456\u0430\u043b\u0443, \u0449\u043e \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u0430\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u043e \u043f\u0456\u0434\u043a\u043b\u0430\u0434\u0438\u043d\u043a\u0438.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f Avinit \u043e\u0441\u0456\u0434\u0430\u044e\u0442\u044c \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0456\u0439\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u044f\u0445 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u043b\u0430\u0441\u0443 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0438 (\u0434\u043e V=12-13) \u0431\u0435\u0437 \u0437\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u043d\u044f \u043a\u043b\u0430\u0441\u0443 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456. \u0426\u0435 \u0434\u043e\u0441\u044f\u0433\u0430\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432\u0438\u043a\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043d\u043d\u044f\u043c \u0443 \u0440\u043e\u0437\u0440\u043e\u0431\u043b\u044e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u044f\u0445 \u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0456\u0432 \u043e\u0447\u0438\u0449\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456 \u2013 \u0443 \u0442\u043b\u0456\u044e\u0447\u043e\u043c\u0443 \u0440\u043e\u0437\u0440\u044f\u0434\u0456 Ar, \u0443 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0432\u043e\u043c\u0443 \u0440\u043e\u0437\u0440\u044f\u0434\u0456 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u0457 \u0449\u0456\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0456 \u0442\u0430 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0432\u0438\u043c\u0438 \u0456\u043e\u043d\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0443\u0437\u0456 \u0432\u0438\u0449\u0435 \u043d\u0443\u043b\u044c\u043e\u0432\u043e\u0457 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043d\u044f, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0436 \u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0436\u0435\u043d\u043d\u044f\u043c \u043f\u043e\u0448\u043a\u043e\u0434\u0436\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456 \u043c\u0456\u043a\u0440\u043e\u0434\u0443\u0433\u0430\u043c\u0438 \u0437\u0430 \u0434\u043e\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u043e\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0431\u0430\u0447\u0435\u043d\u043e\u0457 \u0432 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0446\u0456 Avinit \u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0457 \u0442\u0440\u0438\u0440\u0456\u0432\u043d\u0435\u0432\u043e\u0457 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0438 \u0434\u0443\u0433\u043e\u0433\u0430\u0441\u0456\u043d\u043d\u044f \u0437\u0430\u0431\u0435\u0437\u043f\u0435\u0447\u0443\u0454 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0443 \u044f\u043a\u0456\u0441\u0442\u044c \u043e\u0447\u0438\u0449\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456 \u0432\u0456\u0434 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u0456\u043d\u0448\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0431\u0440\u0443\u0434\u043d\u0435\u043d\u044c \u0431\u0435\u0437 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u0457\u0432.<\/p>\n<p>\u041e\u0441\u0430\u0434\u0436\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0432\u0435\u0434\u0435\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0438\u0437\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445, \u0449\u043e \u043d\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0432\u0438\u0449\u0443\u044e\u0442\u044c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 \u0432\u0456\u0434\u043f\u0443\u0441\u043a\u0443 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0443 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0438, \u0449\u043e \u0437\u0430\u0431\u0435\u0437\u043f\u0435\u0447\u0443\u0454 \u0437\u0431\u0435\u0440\u0435\u0436\u0435\u043d\u043d\u044f \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0456\u0447\u043d\u0438\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u0432\u0438\u0440\u043e\u0431\u0456\u0432, \u0449\u043e \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u044c\u0441\u044f.<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u0438\u0439 \u0432\u0438\u0431\u0456\u0440 \u0456\u043d\u0434\u0438\u0432\u0456\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0456\u0432 \u0448\u0430\u0440\u0456\u0432, \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0456\u0432 \u043e\u0441\u0430\u0434\u0436\u0435\u043d\u043d\u044f \u0442\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0456\u0437\u0430\u0446\u0456\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0447\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0456\u0432 \u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044e\u044e\u0442\u044c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0443\u043c\u043e\u0432\u0438 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0443 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0456\u0432 \u0437 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043e\u043c \u0443\u043d\u0456\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 \u0432\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439, \u0443 \u0442. \u0447. \u0456\u0437 \u0432\u0438\u043d\u044f\u0442\u043a\u043e\u0432\u043e \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u044e \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u0456\u0441\u0442\u044e, \u043c\u0456\u0446\u043d\u0456\u0441\u0442\u044e, \u0445\u0456\u043c\u0456\u0447\u043d\u043e\u044e \u0441\u0442\u0430\u0431\u0456\u043b\u044c\u043d\u0456\u0441\u0442\u044e, \u043d\u0438\u0437\u044c\u043a\u0438\u043c \u043a\u043e\u0435\u0444\u0456\u0446\u0456\u0454\u043d\u0442\u043e\u043c \u0442\u0435\u0440\u0442\u044f \u0442\u0430 \u043f\u0456\u0434\u0432\u0438\u0449\u0435\u043d\u043e\u044e \u0437\u043d\u043e\u0441\u043e\u0441\u0442\u0456\u0439\u043a\u0456\u0441\u0442\u044e.<\/p>\n<p>\u0420\u0435\u0454\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0456\u044f \u0442\u0430 \u043a\u0435\u0440\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0438\u043c\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0447\u043d\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456\u0432 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0437\u0434\u0456\u0439\u0441\u043d\u044e\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u0437 \u0432\u0438\u043a\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043d\u043d\u044f\u043c \u0441\u043f\u0435\u0446\u0456\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0457 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e\u0457 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0438. \u0426\u0435 \u0434\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0454 \u0432\u0438\u0431\u0438\u0440\u0430\u0442\u0438 \u043d\u0430\u0439\u0431\u0456\u043b\u044c\u0448 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0456 \u043f\u0440\u0438\u0439\u043e\u043c\u0438 \u0442\u0430 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u043e\u0431\u0440\u043e\u0431\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456 \u0442\u0430 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0430\u0431\u043e \u0457\u0445 \u043a\u043e\u043c\u0431\u0456\u043d\u0430\u0446\u0456\u0457 \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u044f\u0433\u043d\u0435\u043d\u043d\u044f \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u0456\u043a\u043e-\u0435\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0456\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0443 \u043f\u0456\u0434 \u0447\u0430\u0441 \u0432\u0438\u0440\u0456\u0448\u0435\u043d\u043d\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0432\u0434\u0430\u043d\u044c.<\/p>\n<p>\u0420\u043e\u0437\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043d\u0456 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043d\u0456 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438 \u0434\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442\u044c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0439\u0442\u0438 \u0434\u043e \u043c\u0456\u043a\u0440\u043e\u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u044e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0456\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u0437\u0430\u0431\u0435\u0437\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u0438 \u043e\u0442\u0440\u0438\u043c\u0430\u043d\u043d\u044f \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e- \u0442\u0430 \u043c\u0456\u043a\u0440\u043e\u0448\u0430\u0440\u043e\u0432\u0438\u0445 \u0431\u0430\u0433\u0430\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u0432\u0438\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u044f\u043a\u0456\u0441\u043d\u043e \u043d\u043e\u0432\u0438\u0439 \u0440\u0456\u0432\u0435\u043d\u044c \u0449\u043e\u0434\u043e \u043f\u043e\u0434\u0430\u043b\u044c\u0448\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0456\u043a\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0442\u0430 \u0432\u0434\u043e\u0441\u043a\u043e\u043d\u0430\u043b\u0435\u043d\u043d\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0456\u0439 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0442\u0438\u043f\u0443 Avinit&#x2122;, \u0441\u0442\u0430\u0431\u0456\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0456 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0439 \u0442\u0430 \u043f\u0456\u0434\u0432\u0438\u0449\u0435\u043d\u043d\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044e \u044f\u043a\u043e\u0441\u0442\u0456 \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u0456 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432.<\/p>\n<p>\u0420\u043e\u0437\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u043e\u0432\u043e \u043d\u043e\u0432\u0456 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0438 (PVD \u0442\u0430 \u0433\u0456\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u0456 PVD+CVD) \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0431\u0430\u0433\u0430\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043d\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e- \u0442\u0430 \u043c\u0456\u043a\u0440\u043e\u0448\u0430\u0440\u043e\u0432\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0443 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u00ab\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b-\u0430\u0437\u043e\u0442\u00bb \u0442\u0430 \u00ab\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b-\u0432\u0443\u0433\u043b\u0435\u0446\u044c\u00bb \u0456\u0437 \u0437\u0430\u0441\u0442\u043e\u0441\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f\u043c \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c-\u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0432\u0438\u0445 (PVD) \u0442\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0456\u043c\u0456\u0447\u043d\u0438\u0445 (CVD) \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456\u0432.<\/p>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0440\u0435\u0430\u043b\u0456\u0437\u0430\u0446\u0456\u0457 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0431\u0430\u0433\u0430\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043d\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e- \u0442\u0430 \u043c\u0456\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0440\u043e\u0437\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043d\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0457 \u0437 \u0432\u0438\u043a\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043d\u043d\u044f\u043c \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u0438\u0445 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c-\u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0432\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0456\u043c\u0456\u0447\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456\u0432, \u0449\u043e \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0443\u044e\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0435\u0440\u0456\u0432\u043d\u043e\u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u044e \u043d\u0438\u0437\u044c\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u044e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u044e, \u0443 \u043f\u043e\u0454\u0434\u043d\u0430\u043d\u043d\u0456 \u0437 \u0456\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0432\u0438\u043c \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0456\u043a\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f\u043c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456.<\/p>\n<p>\u0420\u043e\u0437\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043d\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0457 \u0442\u0430 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u043d\u0430\u043d\u043d\u044f \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u0431\u0430\u0433\u0430\u0442\u043e\u0448\u0430\u0440\u043e\u0432\u0438\u0445 \u0437\u043c\u0456\u0446\u043d\u044e\u044e\u0447\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 Avinit\u0437 \u043c\u0435\u0442\u043e\u044e \u043f\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u043d\u044f \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0456\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439 \u0435\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0430 \u0437\u0430\u0433\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u043e\u0431\u0443\u0434\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f.<\/p>\n<p><strong>\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/strong><\/p>\n<ol>\n<li>\u041f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0456 \u0437 \u0432\u0438\u043a\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043d\u043d\u044f\u043c \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0439.<\/li>\n<li>\u0422\u043e\u0432\u0449\u0438\u043d\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f 3-5 \u043c\u043a\u043c.<\/li>\n<li>\u0417\u0431\u0435\u0440\u0435\u0436\u0435\u043d\u043d\u044f \u043a\u043b\u0430\u0441\u0443 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456 Ra = 0,025 &#8211; 0,036 \u043c\u043a\u043c.<\/li>\n<li>\u041f\u0440\u0435\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u0435 \u0437\u0447\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u043d\u044f \u0437 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u044e.<\/li>\n<\/ol>\n<p><b>\u0417\u0430\u0441\u0442\u043e\u0441\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f:<\/b><strong>\u00a0\u0410\u043d\u0442\u0438\u0444\u0440\u0438\u043a\u0446\u0456\u0439\u043d\u0456 \u0437\u043d\u043e\u0441\u043e\u0441\u0442\u0456\u0439\u043a\u0456 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0456\u0434\u0432\u0438\u0449\u0435\u043d\u043d\u044f \u0442\u0440\u0438\u0431\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0447\u043d\u0438\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u043f\u0430\u0440 \u0442\u0435\u0440\u0442\u044f<\/strong><\/p>\n<p><strong>\u041e\u0441\u043e\u0431\u043b\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0456 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432:<\/strong><\/p>\n<ul>\n<li>\u041d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432.<\/li>\n<li>\u041f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f \u043c\u0430\u044e\u0442\u044c \u043d\u0430\u043d\u043e\u0448\u0430\u0440\u043e\u0432\u0443 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0456 \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442\u044c\u0441\u044f \u0437 \u0448\u0430\u0440\u0456\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0456 \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d\u0443, \u043c\u043e\u043b\u0456\u0431\u0434\u0435\u043d\u0443 \u0442\u0430 \u0457\u0445 \u0441\u043f\u043e\u043b\u0443\u043a \u0437 \u0430\u0437\u043e\u0442\u043e\u043c \u0443 \u0440\u0456\u0437\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0454\u0434\u043d\u0430\u043d\u043d\u044f\u0445 \u0437\u0430\u0432\u0442\u043e\u0432\u0448\u043a\u0438 ~ 10-15 \u043d\u043c.<\/li>\n<li>\u041c\u0456\u043a\u0440\u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u0456\u0441\u0442\u044c 10000-15000 \u041c\u041f\u0430 (\u0437\u0430\u043b\u0435\u0436\u043d\u043e \u0432\u0456\u0434 \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u0443 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f).<\/li>\n<li>\u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0437\u0431\u0435\u0440\u0456\u0433\u0430\u0454 \u043a\u043b\u0430\u0441 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456 (\u043f\u043e\u0447\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432\u0430 \u0448\u043e\u0440\u0441\u0442\u043a\u0456\u0441\u0442\u044c \u0432\u0456\u0434\u043f\u043e\u0432\u0456\u0434\u0430\u0454 12-13 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0443 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0438).<\/li>\n<li>\u041d\u0438\u0437\u044c\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u0456 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0438 \u0437\u0430\u0431\u0435\u0437\u043f\u0435\u0447\u0443\u044e\u0442\u044c \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432, \u0449\u043e \u043c\u0430\u044e\u0442\u044c \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0443 \u0430\u0434\u0433\u0435\u0437\u0456\u044e \u0434\u043e \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445, \u0449\u043e \u043d\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0432\u0438\u0449\u0443\u044e\u0442\u044c 200\u00ba\u0421, \u0449\u043e \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0434\u043e \u0437\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u043d\u044f \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u0456 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n<div id='gallery-2' class='gallery galleryid-214 gallery-columns-2 gallery-size-medium'><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/1-12.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"209\" src=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/1-12-300x209.jpg\" class=\"attachment-medium size-medium\" alt=\"\" aria-describedby=\"gallery-2-2840\" srcset=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/1-12-300x209.jpg 300w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/1-12.jpg 497w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-2-2840'>\n\t\t\t\t\u0421\u0444\u0435\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u044f \u043f\u043b\u0443\u043d\u0436\u0435\u0440\u0430 \u0437 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0448\u0430\u0440\u043e\u0432\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f\u043c \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0456 Ti\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/2-9.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"209\" src=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/2-9-300x209.jpg\" class=\"attachment-medium size-medium\" alt=\"\" aria-describedby=\"gallery-2-2841\" srcset=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/2-9-300x209.jpg 300w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/2-9.jpg 690w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-2-2841'>\n\t\t\t\t\u041f\u043b\u0443\u043d\u0436\u0435\u0440 \u0456\u0437 \u043c\u0456\u043a\u0440\u043e\u0448\u0430\u0440\u043e\u0432\u0438\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f\u043c \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0456 Mo\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/3-8.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"209\" src=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/3-8-300x209.jpg\" class=\"attachment-medium size-medium\" alt=\"\" aria-describedby=\"gallery-2-2838\" srcset=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/3-8-300x209.jpg 300w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/3-8.jpg 690w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-2-2838'>\n\t\t\t\t\u0417\u043e\u043b\u043e\u0442\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0433\u0456\u0434\u0440\u0430\u0432\u043b\u0456\u0447\u043d\u0438\u0445 \u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442\u0456\u0432 \u0437 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f\u043c Avinit C\/P 320\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon landscape'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/4-4.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"300\" height=\"209\" src=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/4-4-300x209.jpg\" class=\"attachment-medium size-medium\" alt=\"\" aria-describedby=\"gallery-2-2839\" srcset=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/4-4-300x209.jpg 300w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/4-4.jpg 690w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-2-2839'>\n\t\t\t\t\u0417\u043e\u043b\u043e\u0442\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0437 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f\u043c Avinit\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure>\n\t\t<\/div>\n\n<h1 align=\"center\"><b><strong>\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438<\/strong><\/b><\/h1>\n<p align=\"left\">\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 <strong>\u041a\u043e\u043c\u0431\u0456\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0456<\/strong> <strong>\u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 &#8220;Hi-Tech&#8221;<\/strong><\/p>\n<p align=\"left\">\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 \u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u043e\u0441\u0430\u0434\u0436\u0435\u043d\u043d\u044f \u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0457 \u0444\u0430\u0437\u0438 (CVD \u0456 PECVD)<\/p>\n<p align=\"left\">\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 \u041c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c-\u0434\u0443\u0433\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432<\/p>\n<p align=\"left\">\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 \u041c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432<\/p>\n<p>\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0 \u041a\u043e\u043c\u0431\u0456\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0456 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432&#8221;Hi-Tech&#8221;<\/p>\n<h2><strong>\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u043e\u0441\u0430\u0434\u0436\u0435\u043d\u043d\u044f \u0437 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0457 \u0444\u0430\u0437\u0438 <span style=\"text-decoration: underline;\">CVD \u0456 PECVD)<\/span><\/strong><\/h2>\n<p>\u0424\u043e\u0440\u043c\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 CVD \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0432\u0456\u0434\u0431\u0443\u0432\u0430\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u0437\u0430 \u0440\u0430\u0445\u0443\u043d\u043e\u043a \u043f\u0440\u043e\u0442\u0456\u043a\u0430\u043d\u043d\u044f \u043d\u0430 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0456\u0442\u0456\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456 \u0432\u0438\u0440\u043e\u0431\u0456\u0432 \u0433\u0435\u0442\u0435\u0440\u043e\u0433\u0435\u043d\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456\u0432 \u0440\u043e\u0437\u043a\u043b\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u044f (\u0432\u043e\u0434\u043d\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0432\u0456\u0434\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044f) \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043e\u0432\u043c\u0456\u0441\u043d\u0438\u0445 \u0445\u0456\u043c\u0456\u0447\u043d\u0438\u0445 \u0441\u043f\u043e\u043b\u0443\u043a, \u0449\u043e \u0437\u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0456\u0439\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0431&#8217;\u0454\u043c\u0456 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043f\u043e\u0434\u0456\u0431\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0456.<\/p>\n<p>\u0417\u0430\u0432\u0434\u044f\u043a\u0438 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0456\u0439 \u0440\u0443\u0445\u043b\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0456 \u0442\u0430 \u0456\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0456 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456\u0432 \u043c\u0430\u0441\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0443, \u0432\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u0432\u0438\u0445 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043f\u043e\u0434\u0456\u0431\u043d\u0438\u043c \u0441\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0438\u0449\u0430\u043c, \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 CVD \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u043c\u0430\u0454 \u0432\u0438\u043d\u044f\u0442\u043a\u043e\u0432\u0443 &#8220;\u043a\u0440\u0438\u044e\u0447\u0443&#8221; \u0437\u0434\u0430\u0442\u043d\u0456\u0441\u0442\u044c. \u041c\u043e\u0436\u043b\u0438\u0432\u0456\u0441\u0442\u044c \u0437\u0430\u0431\u0435\u0437\u043f\u0435\u0447\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0456 \u043c\u0430\u0441\u043e\u0432\u0456 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043e\u0432\u043c\u0456\u0441\u043d\u043e\u0433\u043e \u0437&#8217;\u0454\u0434\u043d\u0430\u043d\u043d\u044f \u0432 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043f\u043e\u0434\u0456\u0431\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0456 \u0434\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456, \u0449\u043e \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0432\u0430\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0454 \u0440\u0435\u0430\u043b\u0456\u0437\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0456\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456\u0432 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f, \u0432 \u044f\u043a\u0438\u0445 \u0448\u0432\u0438\u0434\u043a\u0456\u0441\u0442\u044c \u0437\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043d\u044f \u043c\u043e\u0436\u0435 \u0434\u043e\u0441\u044f\u0433\u0430\u0442\u0438 \u0432\u0456\u0434 \u0434\u0435\u043a\u0456\u043b\u044c\u043a\u043e\u0445 \u0441\u043e\u0442\u0435\u043d\u044c \u043c\u0456\u043a\u0440\u043e\u043d \u043d\u0430 \u0433\u043e\u0434\u0438\u043d\u0443 \u0434\u043e \u0434\u0435\u043a\u0456\u043b\u044c\u043a\u043e\u0445 \u043c\u0456\u043b\u0456\u043c\u0435\u0442\u0440\u0456\u0432 \u043d\u0430 \u0433\u043e\u0434\u0438\u043d\u0443.<\/p>\n<p>\u0412\u0438\u0441\u043e\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0435\u0432\u0430 \u0440\u0443\u0445\u043b\u0438\u0432\u0456\u0441\u0442\u044c \u0430\u0434\u0441\u043e\u0440\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043e\u0432\u043c\u0456\u0441\u043d\u0438\u0445 \u0441\u043f\u043e\u043b\u0443\u043a \u0434\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0454 \u0432 CVD \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0430\u0445 \u043e\u0442\u0440\u0438\u043c\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f \u0437 \u0449\u0456\u043b\u044c\u043d\u0456\u0441\u0442\u044e, \u0431\u043b\u0438\u0437\u044c\u043a\u043e\u044e \u0434\u043e \u0442\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0457, \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 ~ 0,15-0,3 \u0432\u0456\u0434 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0443, \u0449\u043e \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0456\u043d\u0448\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0456\u0432 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0436 \u0443\u0442\u0432\u043e\u0440\u044e\u0432\u0430\u0442\u0438 \u0434\u043e\u0441\u043a\u043e\u043d\u0430\u043b\u0456 \u0435\u043f\u0456\u0442\u0430\u043a\u0441\u0456\u0439\u043d\u0456 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f.<\/p>\n<p>\u0412\u0456\u0434\u043d\u043e\u0441\u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 \u043e\u0447\u0438\u0449\u0435\u043d\u043d\u044f \u0432\u0456\u0434 \u0431\u0456\u043b\u044c\u0448\u043e\u0441\u0442\u0456 \u0434\u043e\u043c\u0456\u0448\u043a\u043e\u0432\u0438\u0445 \u0435\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0456\u0432 \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0430\u0434\u0456\u0457 \u043e\u0442\u0440\u0438\u043c\u0430\u043d\u043d\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043e\u0432\u043c\u0456\u0441\u043d\u0438\u0445 \u0441\u043f\u043e\u043b\u0443\u043a \u0437\u0430\u0432\u0434\u044f\u043a\u0438 \u0432\u0438\u0431\u0456\u0440\u043a\u043e\u0432\u043e\u0441\u0442\u0456 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456\u0432 \u0445\u0456\u043c\u0456\u0447\u043d\u043e\u0457 \u0432\u0437\u0430\u0454\u043c\u043e\u0434\u0456\u0457 \u0432\u0438\u0445\u0456\u0434\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u0456\u0432 \u043d\u0430 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0456\u0442\u0456\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456, \u0434\u043e\u0434\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432\u0430 \u0434\u0438\u0441\u0442\u0438\u043b\u044f\u0446\u0456\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456 \u0439\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u043d\u044f \u0432 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043f\u043e\u0434\u0456\u0431\u043d\u0438\u0439 \u0441\u0442\u0430\u043d \u0456\u0437 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0433\u043e \u0430\u0431\u043e \u0440\u0456\u0434\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0443, \u0432 \u044f\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0446\u0456 \u0441\u043f\u043e\u043b\u0443\u043a\u0438 \u0437\u0430\u0437\u0432\u0438\u0447\u0430\u0439 \u0437\u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u0437\u0430 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 \u0443\u043c\u043e\u0432, \u0437\u0443\u043c\u043e\u0432\u043b\u044e\u044e\u0442\u044c \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0443 \u0441\u0442\u0443\u043f\u0456\u043d\u044c \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0438 \u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0443\u0432\u0430\u043d\u0438\u0445 CVD \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u0442\u0443\u0436\u043d\u0438\u043c \u0456\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u0432\u043f\u043b\u0438\u0432\u0443 \u044f\u043a \u043d\u0430 \u043a\u0456\u043d\u0435\u0442\u0438\u043a\u0443 CVD \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0456\u0432 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432, \u0442\u0430\u043a \u0456 \u0432\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0456 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0454 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0432\u0430 \u043f\u0456\u0434\u0442\u0440\u0438\u043c\u043a\u0430 (PECVD). \u0417\u0430\u0441\u0442\u043e\u0441\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0440\u0456\u0437\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0439\u043e\u043c\u0456\u0432 \u0437\u0431\u0443\u0434\u0436\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0438 \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0456\u0439\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0431\u0441\u044f\u0437\u0456 \u0442\u0430 \u043a\u0435\u0440\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0457\u0457 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0454 \u0456\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0444\u0456\u043a\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0438 \u0437\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432, \u0437\u0440\u0443\u0448\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u0457\u0445 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c \u043d\u0438\u0436\u0447\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440, \u0440\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c \u043a\u0435\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0456\u0448\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0438 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0456\u043a\u0440\u043e\u0440\u0435\u043b\u044c\u0454\u0444\u0443 \u0442\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f, \u0434\u043e\u043c\u0456\u0448\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u0443 \u0442\u0430 \u0456\u043d\u0448\u0438\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f.<\/p>\n<p><b><i><span style=\"text-decoration: underline;\">\u041f\u0435\u0440\u0435\u0432\u0430\u0433\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0456\u0432:\u00a0<\/span><\/i><\/b><\/p>\n<ul>\n<li>\u0423\u043d\u0456\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0456 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0442\u0430 \u0432\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0456 \u0456\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0456\u0432 (\u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u0456, \u043d\u0430\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u0456\u0447\u043d\u0456, \u043c\u0456\u043a\u0440\u043e\u0448\u0430\u0440\u043e\u0432\u0456 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438, \u043d\u0430\u0434\u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0430 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u0456\u0441\u0442\u044c, \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0430 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430, \u0432\u0438\u043a\u043b\u044e\u0447\u043d\u043e \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0430 \u043c\u0456\u0446\u043d\u0456\u0441\u0442\u044c \u0437\u0447\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u043d\u044f \u0437 \u0440\u0456\u0437\u043d\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0456\u0434\u043a\u043b\u0430\u0434\u0438\u043d\u043a\u0430\u043c\u0438, \u043e\u0441\u043e\u0431\u043b\u0438\u0432\u0456 \u0444\u0456\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0445\u0456\u043c\u0456\u0447\u043d\u0456, \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0444\u0456\u0437\u0438\u0447\u043d\u0456 \u0442\u0430 \u0456\u043d. \u0432\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0456).<\/li>\n<li>\u0415\u043a\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0447\u043d\u0430 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 \u0442\u0430 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0430 \u0433\u0430\u043c\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 (\u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0437 \u0431\u0443\u0434\u044c-\u044f\u043a\u0438\u0445 \u0435\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0456\u0432), \u0443 \u0442\u043e\u043c\u0443 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0456 W, Re, Ta, Nb, Cr, V, Ti, Al, B, \u0457\u0445 \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u0438, \u0442\u0443\u0433\u043e\u043f\u043b\u0430\u0432\u043a\u0456 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0438, \u043a\u0430\u0440\u0431\u0456\u0434\u0438, \u043d\u0456\u0442\u0440\u0438\u0434\u0438, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0436 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043e\u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0456\u0447\u043d\u0456 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0456\u0457 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0456 \u0442\u0443\u0433\u043e\u043f\u043b\u0430\u0432\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0456\u0432.<\/li>\n<li>\u041c\u043e\u0436\u043b\u0438\u0432\u0456\u0441\u0442\u044c \u0432\u0430\u0440\u0456\u044e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0448\u0432\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u0456 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0443 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0430\u0445 \u0432\u0456\u0434 \u043e\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u044c \u0434\u043e \u0434\u0435\u043a\u0456\u043b\u044c\u043a\u043e\u0445 \u0442\u0438\u0441\u044f\u0447 \u043c\u0456\u043a\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0456\u0432 \u043d\u0430 \u0433\u043e\u0434\u0438\u043d\u0443, \u0449\u043e \u0434\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0454 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u043c \u0447\u0438\u043d\u043e\u043c \u043e\u0442\u0440\u0438\u043c\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u044f\u043a \u0442\u043e\u043d\u043a\u0456 \u043f\u043b\u0456\u0432\u043a\u0438 \u0456\u0437 \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043e\u044e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043e\u044e \u0442\u0430 \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043c, \u0442\u0430\u043a \u0456 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u0432\u0438\u0440\u043e\u0431\u0438 \u0437 \u0442\u043e\u0432\u0449\u0438\u043d\u043e\u044e \u0441\u0442\u0456\u043d\u043e\u043a \u0434\u043e 10 \u0456 \u0431\u0456\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043c\u043c \u0456\u0437 \u0440\u0456\u0437\u043d\u0438\u0445, \u0443 \u0442\u043e\u043c\u0443 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0456 , \u0432\u0430\u0436\u043a\u043e\u043e\u0431\u0440\u043e\u0431\u043d\u0438\u0445 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434, W) \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0456\u0432 \u0456 \u0443\u043d\u0456\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u0456\u0432 \u0437 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0456\u0432, \u0449\u043e \u043d\u0435 \u0437\u043c\u0456\u0448\u0443\u044e\u0442\u044c\u0441\u044f (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434, Mo-Cu) (\u0456\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0432\u0430 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0443\u0440\u0433\u0456\u044f).<\/li>\n<li>\u041d\u0430\u0439\u0432\u0438\u0449\u0430 \u201c\u043a\u0440\u0438\u044e\u0447\u0430\u201d \u0437\u0434\u0430\u0442\u043d\u0456\u0441\u0442\u044c \u0441\u0435\u0440\u0435\u0434 \u0443\u0441\u0456\u0445 \u0432\u0456\u0434\u043e\u043c\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0456\u0432, \u0449\u043e \u0437\u0430\u0431\u0435\u0437\u043f\u0435\u0447\u0443\u0454 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u0456\u0434\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e \u0442\u043e\u0432\u0449\u0438\u043d\u0456 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u044f\u0445 \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u043e\u0457 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0456\u0457, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0447\u0438 \u0433\u043b\u0443\u0445\u0456 \u043e\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438, \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0456\u0448\u043d\u0456 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u0438\u043d\u0438 \u0442\u0430 \u0442\u0440\u0443\u0431\u0438 \u0437 L\/d &gt;&gt; 1 (L -\u0434\u043e\u0432\u0436\u0438\u043d\u0430 \u0442\u0440\u0443\u0431\u0438, d \u2013 \u0457\u0457 \u0434\u0456\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440) .<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0421\u0435\u0440\u0435\u0434 \u0432\u0456\u0434\u043e\u043c\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0456\u0432 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u0457 \u044f\u043a\u043e\u0441\u0442\u0456 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 CVD \u0442\u0430 PECVD \u0437\u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u043e\u0437\u0430 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0446\u0456\u0454\u044e \u0443 \u0431\u0456\u043b\u044c\u0448\u043e\u0441\u0442\u0456 \u0432\u0438\u043f\u0430\u0434\u043a\u0456\u0432, \u043a\u043e\u043b\u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u0456\u0434\u043d\u043e:<\/p>\n<ul>\n<li>\u041d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0438 \u0440\u0456\u0432\u043d\u043e\u043c\u0456\u0440\u043d\u0456 \u043f\u043e \u0442\u043e\u0432\u0449\u0438\u043d\u0456 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u0449\u0456\u043b\u044c\u043d\u0456 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f \u043d\u0430 \u0432\u0438\u0440\u043e\u0431\u0438 \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u043e\u0457 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438 \u0437 \u0440\u043e\u0437\u0432\u0438\u043d\u0435\u043d\u043e\u044e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0435\u044e, \u0432 \u0442\u043e\u043c\u0443 \u0447\u0438\u0441\u043b\u0456, \u043d\u0430 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0456\u0448\u043d\u0456 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456, \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u043d\u0456 \u0456 \u0433\u043b\u0443\u0445\u0456 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u0438\u043d\u0438, \u043e\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438, \u0442\u0440\u0443\u0431\u0438 \u0437 \u0432\u0456\u0434\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u043d\u044f\u043c L\/d&gt;1.<\/li>\n<li>\u041e\u0442\u0440\u0438\u043c\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f \u0437 \u0442\u0443\u0433\u043e\u043f\u043b\u0430\u0432\u043a\u0438\u0445, \u0432\u0430\u0436\u043a\u043e\u043e\u0431\u0440\u043e\u0431\u043d\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456\u0432, \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u0456\u0432 \u0456 \u0437&#8217;\u0454\u0434\u043d\u0430\u043d\u044c \u0456\u0437 \u0449\u0456\u043b\u044c\u043d\u0456\u0441\u0442\u044e \u0431\u043b\u0438\u0437\u044c\u043a\u043e\u044e \u0434\u043e \u0442\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0457 \u0442\u0430 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u0457 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0438, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u0457\u0445 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043d\u0435\u0441\u0443\u0447\u0456 \u0432\u0438\u0440\u043e\u0431\u0438 \u0440\u0456\u0437\u043d\u043e\u0457 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0456\u0457.<\/li>\n<li>\u041d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0448\u043a\u0438 \u0442\u0430 \u0456\u043d\u0448\u0456 \u0441\u0438\u043f\u0443\u0447\u0456 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0438, \u043f\u0440\u043e\u0441\u043e\u0447\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 (\u0443\u0449\u0456\u043b\u044c\u043d\u044e\u0432\u0430\u0442\u0438) \u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u0456 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n<div id='gallery-3' class='gallery galleryid-214 gallery-columns-2 gallery-size-thumbnail'><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon portrait'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/7-2.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"150\" height=\"150\" src=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/7-2-150x150.jpg\" class=\"attachment-thumbnail size-thumbnail\" alt=\"\" aria-describedby=\"gallery-3-2842\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-3-2842'>\n\t\t\t\t\u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u0440\u0456\u0432\u043d\u043e\u043c\u0456\u0440\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u043d\u0456 \u0432\u0438\u0440\u043e\u0431\u0438\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure><figure class='gallery-item'>\n\t\t\t<div class='gallery-icon portrait'>\n\t\t\t\t<a href='https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/8-2.jpg'><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" width=\"150\" height=\"150\" src=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/8-2-150x150.jpg\" class=\"attachment-thumbnail size-thumbnail\" alt=\"\" aria-describedby=\"gallery-3-2843\" \/><\/a>\n\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<figcaption class='wp-caption-text gallery-caption' id='gallery-3-2843'>\n\t\t\t\t\u0421\u043f\u043e\u0441\u0456\u0431 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u0445\u0440\u043e\u043c\u043e\u0432\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432\n\t\t\t\t<\/figcaption><\/figure>\n\t\t<\/div>\n\n<p>\u0412\u0438\u043a\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043d\u043d\u044f \u0433\u0430\u0437\u043e\u0444\u0430\u0437\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0456\u043c\u0456\u0447\u043d\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0456\u0432 \u0443 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u0456 \u0437 \u0456\u043d\u0448\u0438\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0456\u043a\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456 (\u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0456\u0432 \u0456\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0435\u0433\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f, \u0456\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0456\u0457, \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c-\u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0432\u0438\u043c\u0438, \u0434\u0438\u0444\u0443\u0437\u0456\u0439\u043d\u0438\u043c\u0438, \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c-\u0442\u0435\u0440\u043c\u0456\u0447\u043d\u0438\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 \u0442\u0430 \u0456\u043d.) \u0449\u0435 \u0431\u0456\u043b\u044c\u0448\u043e\u044e \u043c\u0456\u0440\u043e\u044e \u0440\u043e\u0437\u0448\u0438\u0440\u044e\u0454 \u043c\u043e\u0436\u043b\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0456 \u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u043e\u0432\u043e \u043d\u043e\u0432\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432.<\/p>\n<p><strong>\u041d\u0430\u0439\u0431\u0456\u043b\u044c\u0448 \u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0438\u043c<\/strong> \u0454 \u0437\u0430\u0441\u0442\u043e\u0441\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f CVD \u0442\u0430 PECVD \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0456\u0432 \u0434\u043b\u044f:<\/p>\n<ul>\n<li>\u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u0436\u0430\u0440\u043e\u043c\u0456\u0446\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0441\u0442\u0456\u0439\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0437 \u0442\u0443\u0433\u043e\u043f\u043b\u0430\u0432\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456\u0432, \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u0456\u0432, \u0437&#8217;\u0454\u0434\u043d\u0430\u043d\u044c \u043d\u0430 \u0432\u0443\u0437\u043b\u0438 \u0442\u0430 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d, \u043f\u0440\u0438\u043b\u0430\u0434\u0456\u0432, \u0449\u043e \u043f\u0440\u0430\u0446\u044e\u044e\u0442\u044c \u0432 \u0443\u043c\u043e\u0432\u0430\u0445 \u0432\u0435\u043b\u0438\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u0438\u0445 \u043d\u0430\u0432\u0430\u043d\u0442\u0430\u0436\u0435\u043d\u044c.<\/li>\n<li>\u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0445\u0438\u0441\u0442\u0443 \u0432\u0456\u0434 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0437\u0456\u0457 \u0432 \u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0438\u0432\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u043e\u0441\u043e\u0431\u043b\u0438\u0432\u043e \u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0438\u0432\u043d\u0438\u0445 \u0440\u0456\u0434\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u0438\u0445 \u0441\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0438\u0449\u0430\u0445, \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0445\u0438\u0441\u0442\u0443 \u0432\u0456\u0434 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0457 \u0442\u0430 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u043d\u043e\u0457 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0437\u0456\u0457.<\/li>\n<li>\u0412\u0438\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044f \u0442\u0438\u0433\u043b\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u043d\u0430\u0449\u0435\u043d\u043d\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u0438\u0440\u043e\u0431\u043d\u0438\u0446\u0442\u0432\u0430 \u043e\u0441\u043e\u0431\u043b\u0438\u0432\u043e \u0447\u0438\u0441\u0442\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043f\u0456\u0432\u043f\u0440\u043e\u0432\u0456\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0456\u0432, \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0456\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u043e\u043f\u0442\u043e\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u0430\u0434\u0456\u0432.<\/li>\n<li>\u041e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u043d\u044f \u043d\u0430\u043f\u0456\u0432\u043f\u0440\u043e\u0432\u0456\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u0435\u043f\u0456\u0442\u0430\u043a\u0441\u0456\u0439\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432.<\/li>\n<li>\u041e\u0442\u0440\u0438\u043c\u0430\u043d\u043d\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u0456\u0434\u043d\u0438\u0445, \u0431\u0430\u0440&#8217;\u0454\u0440\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u0456\u043d\u0448\u0438\u0445 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0456\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0443 \u0432\u0438\u0440\u043e\u0431\u0430\u0445 \u0440\u0430\u0434\u0456\u043e\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0457 \u0442\u0430 \u043c\u0456\u043a\u0440\u043e\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0457 \u043f\u0440\u043e\u043c\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u043e\u0441\u0442\u0456.<\/li>\n<li>\u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456\u0437\u0430\u0446\u0456\u0457 \u0441\u0438\u043f\u0443\u0447\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0456\u0432 (\u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u0456\u0432, \u043f\u043e\u0440\u043e\u0448\u043a\u0456\u0432), \u043f\u0440\u043e\u0441\u043e\u0447\u0435\u043d\u043d\u044f \u0433\u0440\u0430\u0444\u0456\u0442\u0443, \u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043d\u0438\u0441\u0442\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0456\u0432.<\/li>\n<li>\u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0445\u0438\u0441\u0442\u0443 \u0432\u0456\u0434 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0437\u0456\u0457 \u0432 \u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0438\u0432\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u043e\u0441\u043e\u0431\u043b\u0438\u0432\u043e \u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0438\u0432\u043d\u0438\u0445 \u0440\u0456\u0434\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u0438\u0445 \u0441\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0438\u0449\u0430\u0445, \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0445\u0438\u0441\u0442\u0443 \u0432\u0456\u0434 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0457 \u0442\u0430 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u043d\u043e\u0457 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0437\u0456\u0457.<\/li>\n<\/ul>\n<h2 style=\"text-align: center;\"><strong>\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c-\u0434\u0443\u0433\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432<\/strong><\/h2>\n<p><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-2844 size-medium aligncenter\" src=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/9-1-300x211.jpg\" alt=\"\" width=\"300\" height=\"211\" srcset=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/9-1-300x211.jpg 300w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/9-1-1024x720.jpg 1024w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/9-1-1536x1081.jpg 1536w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/9-1-2048x1441.jpg 2048w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/9-1-1200x844.jpg 1200w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/9-1-1980x1393.jpg 1980w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/p>\n<p>\u0414\u0436\u0435\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u0438\u043b\u044e\u0432\u0430\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0443 \u0443 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c-\u0434\u0443\u0433\u043e\u0432\u043e\u043c\u0443 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0456 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0442\u044c \u043a\u0430\u0442\u043e\u0434 \u0440\u043e\u0437\u0440\u044f\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043c\u0456\u0436\u043a\u0443, \u0432 \u044f\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0437\u0431\u0443\u0434\u0436\u0443\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u0443\u0433\u043e\u0432\u0438\u0439 \u0440\u043e\u0437\u0440\u044f\u0434 \u043f\u0440\u0438 \u0437\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0442\u0438\u0441\u043a\u0443 (\u0443 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0456). \u041d\u0430 \u0432\u0456\u0434\u043c\u0456\u043d\u0443 \u0432\u0456\u0434 \u0434\u0443\u0433\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0437\u0440\u044f\u0434\u0443 \u043f\u0440\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 (\u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u043d\u043e\u043c\u0443) \u0442\u0438\u0441\u043a\u0443 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u0438\u0439 \u0434\u0443\u0433\u043e\u0432\u0438\u0439 \u0440\u043e\u0437\u0440\u044f\u0434 \u0432\u0456\u0434\u0431\u0443\u0432\u0430\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0430\u0440\u0430\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0443, \u043f\u0440\u0438 \u0446\u044c\u043e\u043c\u0443 \u0440\u043e\u0437\u0440\u044f\u0434 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u0456\u0437\u0443\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u043d\u0435\u0432\u0435\u043b\u0438\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u0445, \u0449\u043e \u043c\u0430\u044e\u0442\u044c \u043c\u0456\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u0456 \u0440\u043e\u0437\u043c\u0456\u0440\u0438 \u0456 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0456\u0449\u0443\u044e\u0442\u044c\u0441\u044f \u0445\u0430\u043e\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u043f\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456 \u043a\u0430\u0442\u043e\u0434\u0430. \u0429\u0456\u043b\u044c\u043d\u0456\u0441\u0442\u044c \u0435\u043d\u0435\u0440\u0433\u0456\u0457 \u0432 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u0445, \u044f\u043a\u0456 \u043d\u0430\u0437\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a\u0430\u0442\u043e\u0434\u043d\u0438\u043c\u0438 \u043f\u043b\u044f\u043c\u0430\u043c\u0438, \u0434\u043e\u0441\u044f\u0433\u0430\u0454 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u044c 109 \u0412\u0442\/\u0441\u043c2. \u0417\u0430\u0432\u0434\u044f\u043a\u0438 \u0446\u044c\u043e\u043c\u0443 \u0437\u0430 \u0447\u0430\u0441 ~ 5 &#8211; 40 \u043d\u0441\u0435\u043a. (\u0427\u0430\u0441 \u0441\u043f\u043e\u043a\u043e\u044e \u043a\u0430\u0442\u043e\u0434\u043d\u043e\u0457 \u043f\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0439\u043e\u0433\u043e \u0445\u0430\u043e\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0443\u0441\u0456) \u0442\u0438\u0441\u043a \u043f\u0430\u0440\u0456\u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0443 \u0434\u043e\u0441\u044f\u0433\u0430\u0454 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u044c ~105 \u041f\u0430, \u0430 \u0441\u0442\u0443\u043f\u0456\u043d\u044c \u0456\u043e\u043d\u0456\u0437\u0430\u0446\u0456\u0457 \u043f\u0430\u0440\u0456\u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0443 \u043c\u043e\u0436\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0438 \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u0443, \u0431\u043b\u0438\u0437\u044c\u043a\u0443 \u0434\u043e 100%. \u0415\u043d\u0435\u0440\u0433\u0456\u044f \u0456\u043e\u043d\u0456\u0432 \u0443 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0456 \u0434\u0443\u0433\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0437\u0440\u044f\u0434\u0443 \u043c\u0430\u0454 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044f 5-20 \u0435\u0412.<\/p>\n<p>\u0426\u0456 \u043e\u0441\u043e\u0431\u043b\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0456 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c-\u0434\u0443\u0433\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0437\u0440\u044f\u0434\u0443, \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c\u0443, \u0456 \u0432\u0438\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u044e\u0442\u044c \u043c\u043e\u0436\u043b\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0456 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0443 \u043e\u0442\u0440\u0438\u043c\u0430\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0437 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u0435\u043c \u0430\u0434\u0433\u0435\u0437\u0456\u0457, \u0449\u0456\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0456, \u0440\u0456\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0443 \u0456 \u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u0443.<\/p>\n<p style=\"text-align: left;\" align=\"center\"><b>\u00a0<\/b><strong style=\"font-size: revert;\">\u0412\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c-\u0434\u0443\u0433\u043e\u0432\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0434\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0454<\/strong><span style=\"font-size: revert;\">:<\/span><\/p>\n<ul>\n<li style=\"list-style-type: none;\">\n<ul>\n<li>\u041e\u0442\u0440\u0438\u043c\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0437 \u0431\u0443\u0434\u044c-\u044f\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456\u0432, \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0456\u0434\u043d\u0438\u0445 \u0441\u043f\u043e\u043b\u0443\u043a;<\/li>\n<li>\u041f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0447\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0438 \u043e\u0441\u0430\u0434\u0436\u0435\u043d\u043d\u044f \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0456\u0439\u043d\u043e-\u0437\u0434\u0430\u0442\u043d\u0438\u0445 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043f\u043e\u0434\u0456\u0431\u043d\u0438\u0445 \u0441\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0438\u0449\u0430\u0445 (N2, O2, CH4 \u0442\u0430 \u0456\u043d.), \u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f \u0437 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0456\u0432, \u043d\u0456\u0442\u0440\u0438\u0434\u0456\u0432, \u043a\u0430\u0440\u0431\u0456\u0434\u0456\u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456\u0432, \u043e\u043a\u0441\u0438\u043a\u0430\u0440\u0431\u043e\u043d\u0456\u0442\u0440\u0438\u0434\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u0456\u0448\u0438\u0445 \u0441\u043f\u043e\u043b\u0443\u043a;<\/li>\n<li>\u041f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0447\u0438 \u0434\u043e \u0432\u0438\u0440\u043e\u0431\u0443 \u043d\u0435\u0433\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0456\u0430\u043b, \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u044c\u043e \u0456\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0432\u0435 \u043e\u0447\u0438\u0449\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456, \u0440\u043e\u0437\u0456\u0433\u0440\u0456\u0432\u0430\u0442\u0438 \u0432\u0438\u0440\u0456\u0431 \u0442\u0430 \u043f\u0456\u0434\u0442\u0440\u0438\u043c\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u0439\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u0456\u0434\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0456\u0432\u043d\u0456, \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0456\u043a\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f, \u0449\u043e \u0437\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0454, \u0442\u0430 \u0437\u043c\u0456\u043d\u044e\u0432\u0430\u0442\u0438 \u0456\u043d\u0448\u0456 \u0439\u043e\u0433\u043e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n<p><strong>\u041d\u0430\u0439\u0431\u0456\u043b\u044c\u0448 \u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0435 \u0437\u0430\u0441\u0442\u043e\u0441\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f<\/strong> \u0434\u043b\u044f:<\/p>\n<ul>\n<li>\u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0456\u0432\u043a\u043e\u0432\u0438\u0445 \u0437\u043c\u0456\u0446\u043d\u044e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445, \u0437\u043d\u043e\u0441\u043e- \u0442\u0430 \u0435\u0440\u043e\u0437\u0456\u0439\u043d\u043e-\u0441\u0442\u0456\u0439\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u043d\u0430 \u0440\u0456\u0436\u0443\u0447\u0438\u0439 \u0456\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442, \u043f\u0440\u0435\u0441-\u0444\u043e\u0440\u043c\u0438, \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d \u0442\u0430 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0456\u0437\u043c\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u0456\u043d.<\/li>\n<li>\u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u0437\u0430\u0445\u0438\u0441\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u0437\u0430\u0445\u0438\u0441\u043d\u043e-\u0434\u0435\u043a\u043e\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0443 \u0445\u0456\u043c\u0456\u0447\u043d\u0456\u0439, \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u043e\u0431\u0443\u0434\u0456\u0432\u043d\u0456\u0439 \u0433\u0430\u043b\u0443\u0437\u044f\u0445, \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u043e\u0431\u0456\u043b\u0435\u0431\u0443\u0434\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u0456, \u0432\u0438\u0440\u043e\u0431\u043d\u0438\u0446\u0442\u0432\u0456 \u043c\u0435\u0434\u0456\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0456\u0432, \u0442\u043e\u0432\u0430\u0440\u0456\u0432 \u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043f\u043e\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f \u0442\u0430 \u0456\u043d.<\/li>\n<li>\u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0445\u0438\u0441\u0442\u0443 \u0432\u0456\u0434 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0437\u0456\u0457 \u0432 \u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0438\u0432\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u043e\u0441\u043e\u0431\u043b\u0438\u0432\u043e \u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0438\u0432\u043d\u0438\u0445 \u0440\u0456\u0434\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u0438\u0445 \u0441\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0438\u0449\u0430\u0445.<\/li>\n<li>\u041e\u0442\u0440\u0438\u043c\u0430\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0456\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u043e\u043f\u0442\u043e\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u0430\u0434\u0456\u0432.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h2 style=\"text-align: center;\"><strong>\u041c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f<\/strong><\/h2>\n<p><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-2845 size-medium aligncenter\" src=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/10-300x210.jpg\" alt=\"\" width=\"300\" height=\"210\" srcset=\"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/10-300x210.jpg 300w, https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/wp-content\/uploads\/2022\/07\/10.jpg 425w\" sizes=\"(max-width: 300px) 100vw, 300px\" \/><\/p>\n<p>\u0414\u0456\u044f \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0436\u0435\u0440\u0435\u043b\u0430 \u0437\u0430\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u043e\u0437\u043f\u0438\u043b\u0435\u043d\u043d\u0456 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0443 \u043c\u0456\u0448\u0435\u043d\u0456-\u043a\u0430\u0442\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0439\u043e\u0433\u043e \u0431\u043e\u043c\u0431\u0430\u0440\u0434\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u0456 \u0456\u043e\u043d\u0430\u043c\u0438 \u0440\u043e\u0431\u043e\u0447\u043e\u0433\u043e \u0433\u0430\u0437\u0443, \u0449\u043e \u0443\u0442\u0432\u043e\u0440\u044e\u044e\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0456 \u0430\u043d\u043e\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043b\u0456\u044e\u0447\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0437\u0440\u044f\u0434\u0443, \u0449\u043e \u0437\u0431\u0443\u0434\u0436\u0443\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0445\u0440\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0445 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0442\u0430 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0456\u0442\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043f\u043e\u043b\u044f\u0445. \u041c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0430 \u0440\u043e\u0437\u043f\u0438\u043b\u044e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 (\u041c\u0420\u0421) \u0454 \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0456\u0437 \u0440\u0456\u0437\u043d\u043e\u0432\u0438\u0434\u0456\u0432 \u0441\u0445\u0435\u043c \u0434\u0456\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0437\u043f\u0438\u043b\u0435\u043d\u043d\u044f.<\/p>\n<p>\u0414\u043e \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0438\u0445 \u0440\u043e\u0431\u043e\u0447\u0438\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u041c\u0420\u0421 \u0432\u0456\u0434\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u0443\u0433\u0430 \u0442\u0430 \u0441\u0438\u043b\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0443 \u0440\u043e\u0437\u0440\u044f\u0434\u0443, \u043f\u0438\u0442\u043e\u043c\u0430 \u043f\u043e\u0442\u0443\u0436\u043d\u0456\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0442\u043e\u0434\u0456, \u0442\u0438\u0441\u043a \u0440\u043e\u0431\u043e\u0447\u043e\u0433\u043e \u0433\u0430\u0437\u0443 \u0442\u0430 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0456\u0442\u043d\u0430 \u0456\u043d\u0434\u0443\u043a\u0446\u0456\u044f. \u042f\u043a \u0440\u043e\u0431\u043e\u0447\u043e\u0433\u043e \u0433\u0430\u0437\u0443 \u041c\u0420\u0421 \u0437\u0430\u0437\u0432\u0438\u0447\u0430\u0439 \u0432\u0438\u043a\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u0443\u044e\u0442\u044c \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d. \u0422\u0438\u0441\u043a \u0440\u043e\u0431\u043e\u0447\u043e\u0433\u043e \u0433\u0430\u0437\u0443 \u043f\u0456\u0434\u0442\u0440\u0438\u043c\u0443\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u0434\u0456\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0456 10-2-1,0 \u041f\u0430, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0443\u0433\u0430 \u0440\u043e\u0437\u0440\u044f\u0434\u0443 &#8211; 300-800 \u0441\u0442. \u041c\u0430\u0433\u043d\u0456\u0442\u043d\u0430 \u0456\u043d\u0434\u0443\u043a\u0446\u0456\u044f \u043f\u043e\u0431\u043b\u0438\u0437\u0443 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0456 \u043a\u0430\u0442\u043e\u0434\u0430 \u043c\u0430\u0454 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044f 0,03-0,1 \u0422\u043b. \u0417\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0443\u043c\u043e\u0432 \u0449\u0456\u043b\u044c\u043d\u0456\u0441\u0442\u044c \u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0443 \u043d\u0430 \u0446\u0456\u043b\u044c \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c \u043b\u0438\u0448\u0435 \u043a\u0456\u043b\u044c\u043a\u0430 \u0442\u0438\u0441\u044f\u0447 \u0430\u043c\u043f\u0435\u0440 \u043d\u0430 \u043c2, \u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0435\u0432\u0430 \u0449\u0456\u043b\u044c\u043d\u0456\u0441\u0442\u044c \u0435\u043d\u0435\u0440\u0433\u0456\u0457 ~ 106 \u0412\u0442\/\u043c2.<\/p>\n<p>\u041c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0456 \u0440\u043e\u0437\u043f\u0438\u043b\u044e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u0456 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0456\u0439\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0456 \u043c\u043e\u0436\u0443\u0442\u044c \u043f\u0440\u0430\u0446\u044e\u0432\u0430\u0442\u0438 \u0442\u0456\u043b\u044c\u043a\u0438 \u0437 \u043c\u0456\u0448\u0435\u043d\u044f\u043c\u0438 \u0437 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0456\u0434\u043d\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0456\u0432. \u042f\u043a\u0449\u043e \u0432\u0438\u043a\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u0443\u044e\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u0456 \u0434\u0436\u0435\u0440\u0435\u043b\u0430 \u0436\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044f, \u043c\u043e\u0436\u043b\u0438\u0432\u0435 \u0440\u043e\u0437\u043f\u0438\u043b\u0435\u043d\u043d\u044f \u0442\u0430\u043a\u043e\u0436 \u0456 \u043c\u0456\u0448\u0435\u043d\u0435\u0439 \u0437 \u043d\u0435\u043f\u0440\u043e\u0432\u0456\u0434\u043d\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0456\u0432 (\u0412\u0427-\u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438).<\/p>\n<p><strong>\u041c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0438\u0439<\/strong> <strong>\u043c\u0435\u0442\u043e\u0434<\/strong> <strong>\u0434\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0454<\/strong>:<\/p>\n<ul>\n<li>\u041e\u0442\u0440\u0438\u043c\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0437 \u0431\u0443\u0434\u044c-\u044f\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456\u0432, \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u0456\u0432, \u043d\u0430\u043f\u0456\u0432\u043f\u0440\u043e\u0432\u0456\u0434\u043d\u0438\u043a\u0456\u0432 \u0456 \u0434\u0456\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0456\u0432 \u0431\u0435\u0437 \u043f\u043e\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u043d\u044f \u0441\u0442\u0435\u0445\u0456\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0456\u0457 \u0430\u0431\u043e \u0432\u0438\u0445\u0456\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043f\u0456\u0432\u0432\u0456\u0434\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u043d\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0456\u0432 \u043c\u0456\u0448\u0435\u043d\u0456, \u0449\u043e \u0440\u043e\u0437\u043f\u0438\u043b\u044e\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f;<\/li>\n<li>\u0412\u0438\u043a\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u0443\u044e\u0447\u0438 \u0441\u0443\u043c\u0456\u0448\u0456 \u0440\u043e\u0431\u043e\u0447\u043e\u0433\u043e \u0442\u0430 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0456\u0439\u043d\u0438\u0445 \u0433\u0430\u0437\u0456\u0432 (N2, O2, CH4, \u0421\u041e, SO2 \u0442\u0430 \u0456\u043d.) \u0442\u0430 \u0440\u043e\u0437\u043f\u0438\u043b\u044e\u0432\u0430\u043d\u0456 \u043c\u0456\u0448\u0435\u043d\u0456 \u0437 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456\u0432 \u0430\u0431\u043e \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u0456\u0432, \u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u044f \u0437 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0456\u0432, \u043d\u0456\u0442\u0440\u0438\u0434\u0456\u0432, \u043a\u0430\u0440\u0431\u0456\u0434\u0456\u0432, \u0441\u0443\u043b\u044c\u0444\u0456\u0434\u0456\u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456\u0432 \u0442\u0430 \u0456\u043d. \u0437&#8217;\u0454\u0434\u043d\u0430\u043d\u044c, \u0443 \u0442.\u0447. \u0456 \u0442\u0438\u0445, \u044f\u043a\u0456 \u043d\u0435\u043c\u043e\u0436\u043b\u0438\u0432\u043e \u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 \u0437\u0432\u0438\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0440\u043c\u0456\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0438\u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u044f;<\/li>\n<li>\u0412\u0438\u0440\u043e\u0431\u043b\u044f\u0442\u0438 \u043e\u0431\u0440\u043e\u0431\u043a\u0443 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043e\u043d\u044c, \u0449\u043e \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0456 \u0442\u043b\u0456\u044e\u0447\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0437\u0440\u044f\u0434\u0443 \u0437 \u043c\u0435\u0442\u043e\u044e \u0457\u0445 \u0456\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0447\u0438\u0449\u0435\u043d\u043d\u044f \u0442\u0430 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0456\u0457 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f\u043c \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432.<\/li>\n<li>\u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0456\u0432\u043a\u043e\u0432\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0456\u0434\u043d\u0438\u0445, \u0456\u0437\u043e\u043b\u044e\u044e\u0447\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u0456\u043d\u0448\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u0432 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0456\u0439, \u0440\u0430\u0434\u0456\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u0456\u0447\u043d\u0456\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u043e\u0441\u0442\u0456, \u043f\u0440\u0438\u043b\u0430\u0434\u043e\u0431\u0443\u0434\u0443\u0432\u0430\u043d\u043d\u0456 \u0442\u0430 \u0456\u043d\u0448\u0438\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u0445;<\/li>\n<li>\u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u0440\u043e\u0441\u0432\u0456\u0442\u043b\u044e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445, \u0432\u0456\u0434\u0431\u0438\u0432\u043d\u0438\u0445, \u0437\u0430\u0445\u0438\u0441\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u0456\u043d\u0448\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u043d\u0430 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u043d\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043b\u0430\u0434\u0456\u0432;<\/li>\n<li>\u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u0437\u043c\u0456\u0446\u043d\u044e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445, \u0437\u0430\u0445\u0438\u0441\u043d\u0438\u0445 \u0442\u0430 \u0437\u0430\u0445\u0438\u0441\u043d\u043e-\u0434\u0435\u043a\u043e\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u043d\u0430 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438, \u0434\u0456\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0456 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0456\u0430\u043b\u0438, \u0441\u043a\u043b\u043e, \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u043c\u0430\u0441\u0438 \u0443 \u0432\u0438\u0440\u043e\u0431\u043d\u0438\u0446\u0442\u0432\u0456 \u0432\u0438\u0440\u043e\u0431\u0456\u0432 \u0440\u0456\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044f.<\/li>\n<\/ul>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 Avinit \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0456\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 \u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u0456 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u043d\u0430\u043d\u043d\u044f \u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043d\u043e\u0432\u0438\u0445 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0456\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0448\u0430\u0440\u043e\u0432\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0456\u0439\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 Avinit \u043d\u0430 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0456 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d, \u0440\u0456\u0436\u0443\u0447\u0456 \u0456\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0438 \u0437\u0434\u0456\u0439\u0441\u043d\u044e\u0454\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0432 \u041d\u0422\u0426 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u043d\u0430\u043d\u043d\u0456 Avinit \u0437 \u0432\u0438\u043a\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043d\u043d\u044f\u043c \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u0439, \u0440\u043e\u0437\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0445 \u0443 \u041d\u0422\u0426 \u00ab\u041d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0456\u044f\u00bb, \u044f\u043a\u0435 \u0434\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0454 \u0440\u0435\u0430\u043b\u0456\u0437\u0443\u0432\u0430\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u0456 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044f \u043f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0442\u0442\u0456\u0432 (\u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0445\u0456\u043c\u0456\u0447\u043d\u0456 CVD, \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c- (\u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c-\u0434\u0443\u0433\u043e\u0432\u0456, \u043c\u0430\u0433\u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0456), \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0438 \u0456\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0441\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u044f \u0442\u0430 \u0456\u043e\u043d\u043d\u043e\u0457 \u043e\u0431\u0440\u043e\u0431\u043a\u0438), \u043e\u0431&#8217;\u0454\u0434\u043d\u0430\u043d\u0456 [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"parent":3619,"menu_order":9,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"","meta":{"footnotes":""},"class_list":["post-214","page","type-page","status-publish","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/ua\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/214"}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/ua\/wp-json\/wp\/v2\/pages"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/ua\/wp-json\/wp\/v2\/types\/page"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/ua\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/ua\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=214"}],"version-history":[{"count":99,"href":"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/ua\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/214\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":3870,"href":"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/ua\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/214\/revisions\/3870"}],"up":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/ua\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/3619"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.nanotechnology.org.ua\/ua\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=214"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}