Розроблено нові високочисті матеріали на основі піролітичного нітриду бору. Можливе виготовлення як виробів з нітриду бору, так і його нанесення у вигляді покриттів на деталі складної форми з Mo, W, SiO2, графіту та інших матеріалів. Висока чистота матеріалу (зміст домішок <10-3…10-4 ваг % на рівні кращих промислових зразків передових фірм, наприклад “Union Carbide”), щільність, близька до теоретичної, можливість отримання матеріалів ізотропної та анізотропної структури, однорідність та високі електроізоляційні характеристики , відсутність змочуваності з розплавами арсеніду галію та кремнію, технологічність процесу – є відмітними особливостями розробки. Області застосування: тиглі різних конструкцій та інші елементи технологічного оснащення з високочистого бору для піронітриду для вирощування монокристалів напівпровідників особливої чистоти з низьким рівнем структурних дефектів; елементи теплових вузлів печей для високотемпературних хіміко-технологічних процесів; надтонкі вакуумщільні плівки вихідних вікон синхротронного, НВЧ-, рентгенівського випромінювань; підкладки інтегральних схем, тримачі транзисторів, основи резисторів, теплопровідні елементи в мікроелектроніці.
Характеристики тиглів із високочистого PyBN
- Габаритні розміри
Размеры Значение, мм диаметр до 150 высота до 200 толщина стенки до 2 - Щільність PyBN – 2,26 г/см3
- Сумарний вміст домішок < 10-3 – 10-4 % ваг
- Вміст основних домішок в PyBN (% ваг)
- Питомий електроопір – 1019 мкм×см
- незмочуємість розплавами GaAs, Si, Au, Ag.
- Можливе нанесення покриттів з PyBN товщиною 0,1-1 мм на внутрішні та зовнішні поверхні виробів складної конфігурації, в т.ч. тиглі та технологічне оснащення з графіту, кварцу, тугоплавких металів.