Разработаны новые высокочистые материалы на основе пиролитического нитрида бора. Возможно изготовление как изделий из нитрида бора, так и нанесение его в виде покрытий на детали сложной формы из Mo, W, SiO2, графита и других материалов. Высокая чистота материала (содержание примесей <10-3…10-4 вес % на уровне лучших промышленных образцов передовых фирм, например “Union Carbide”), плотность, близкая к теоретической, возможность получения материалов изотропной и анизотропной структуры, однородность и высокие электроизоляционные характеристики, отсутствие смачиваемости с расплавами арсенида галлия и кремния, технологичность процесса – являются отличительными особенностями разработки. Области применения: тигли различных конструкций и другие элементы технологической оснастки из высокочистого пиронитрида бора для выращивания монокристаллов полупроводников особой чистоты с низким уровнем структурных дефектов; элементы тепловых узлов печей для высокотемпературных химико-технологических процессов; сверхтонкие вакуумплотные пленки выходных окон синхротронного, СВЧ-, рентгеновского излучений; подложки интегральных схем, держатели транзисторов, основания резисторов, теплопроводящие элементы в микроэлектронике.
Основные технические характеристики тиглей из высокочистого PyBN
1. Габаритные размеры
| Размеры | Значение, мм |
|---|---|
| диаметр | до 150 |
| высота | до 200 |
| толщина стенки | до 2 |
2. Плотность PyBN – 2,26 г/см3
3. Суммарное содержание примесей < 10-3 – 10-4 % вес
4. Содержание основных примесей в PyBN (% вес)
| Примеси | Содержание в PyBN, % вес |
|---|---|
| Mg | 1×10-4 |
| Al | 2×10-4 |
| Si | < 3×10-3 |
| S | 4×10- 4 |
| K | < 2×10-3 |
| Ca | 6×10-4 |
| Ti | < 5×10-4 |
| Cr | < 5×10-5 |
| Mn | < 3×10-5 |
| Fe | 6×10-4 |
| Co | < 3×10-5 |
| Ni | < 2×10-5 |
| Cu | 2×10-4 |
| Zn | < 7×10-5 |
| Ge | < 5×10-5 |
5. Удельное электросопротивление – 1019 мком×см
6. Несмачиваемость расплавами GaAs, Si, Au, Ag.
7. Возможно нанесение покрытий из PyBN толщиной 0,1-1 мм на внутренние и внешние поверхности изделий сложной конфигурации, в т.ч. тигли и технологическую оснастку из графита, кварца, тугоплавких металлов.