Разработаны новые высокочистые материалы на основе пиролитического нитрида бора. Возможно изготовление как изделий из нитрида бора, так и нанесение его в виде покрытий на детали сложной формы из Mo, W, SiO2, графита и других материалов. Высокая чистота материала (содержание примесей <10-3…10-4 вес % на уровне лучших промышленных образцов передовых фирм, например “Union Carbide”), плотность, близкая к теоретической, возможность получения материалов изотропной и анизотропной структуры, однородность и высокие электроизоляционные характеристики, отсутствие смачиваемости с расплавами арсенида галлия и кремния, технологичность процесса – являются отличительными особенностями разработки. Области применения: тигли различных конструкций и другие элементы технологической оснастки из высокочистого пиронитрида бора для выращивания монокристаллов полупроводников особой чистоты с низким уровнем структурных дефектов; элементы тепловых узлов печей для высокотемпературных химико-технологических процессов; сверхтонкие вакуумплотные пленки выходных окон синхротронного, СВЧ-, рентгеновского излучений; подложки интегральных схем, держатели транзисторов, основания резисторов, теплопроводящие элементы в микроэлектронике.
Основные технические характеристики тиглей из высокочистого PyBN
1. Габаритные размеры
Размеры | Значение, мм |
---|---|
диаметр | до 150 |
высота | до 200 |
толщина стенки | до 2 |
2. Плотность PyBN – 2,26 г/см3
3. Суммарное содержание примесей < 10-3 – 10-4 % вес
4. Содержание основных примесей в PyBN (% вес)
Примеси | Содержание в PyBN, % вес |
---|---|
Mg | 1×10-4 |
Al | 2×10-4 |
Si | < 3×10-3 |
S | 4×10- 4 |
K | < 2×10-3 |
Ca | 6×10-4 |
Ti | < 5×10-4 |
Cr | < 5×10-5 |
Mn | < 3×10-5 |
Fe | 6×10-4 |
Co | < 3×10-5 |
Ni | < 2×10-5 |
Cu | 2×10-4 |
Zn | < 7×10-5 |
Ge | < 5×10-5 |
5. Удельное электросопротивление – 1019 мком×см
6. Несмачиваемость расплавами GaAs, Si, Au, Ag.
7. Возможно нанесение покрытий из PyBN толщиной 0,1-1 мм на внутренние и внешние поверхности изделий сложной конфигурации, в т.ч. тигли и технологическую оснастку из графита, кварца, тугоплавких металлов.