Применение графита в технологической оснастке, используемой для различных высокотемпературных химико-технологических процессов, сдерживается из-за создаваемого им примесного фона, загрязняющего производимую продукцию.
Нами разработаны новые конструкционные материалы на основе графита с защитными покрытиями.
Проведенные промышленные испытания показали, что применение графитового теплового узла с защитным вольфрамовым покрытием всех его элементов при выращивании из расплава монокристаллов арсенида галлия (МАГ) позволяет снизить примесный фон в МАГ (по сравнению с МАГ, выращенным в тепловом узле без покрытия) по углероду, железу, кобальту, меди, хрому, кремнию примерно в два раза (при этом вольфрам в виде примеси в МАГ не обнаружен), а также повысить электрофизические характеристики МАГ и ресурс работы теплового узла.
Возможно нанесение покрытий из W, Mo, Ta, BN и других термостойких материалов на детали самой сложной конфигурации, включая резьбовые соединения, глухие отверстия и т.д.
| Технические характеристики | Значение |
|---|---|
| Габаритные размеры покрываемых деталей, мм | До 400x400x600 |
| Плотность вольфрама, г/см3 | 19,2 — 19,25 |
| Суммарное содержание примесей в вольфраме, % веса | 10-3 - 10-4 |
| Толщина покрытия, мкм | 30 — 100 |