Тигли из высокочистого пиролитического нитрида бора (PyBN)

Июль 3rd, 2014

Разработаны новые высокочистые материалы на основе пиролитического нитрида бора. Возможно изготовление как изделий из нитрида бора, так и нанесение его в виде покрытий на детали сложной формы из Mo, W, SiO2, графита и других материалов. Высокая чистота материала (содержание примесей <10-3…10-4 вес % на уровне лучших промышленных образцов передовых фирм, например «Union Carbide»), плотность, близкая к теоретической, возможность получения материалов изотропной и анизотропной структуры, однородность и высокие электроизоляционные характеристики, отсутствие смачиваемости с расплавами арсенида галлия и кремния, технологичность процесса – являются отличительными особенностями разработки. Области применения: тигли различных конструкций и другие элементы технологической оснастки из высокочистого пиронитрида бора для выращивания монокристаллов полупроводников особой чистоты с низким уровнем структурных дефектов; элементы тепловых узлов печей для высокотемпературных химико-технологических процессов; сверхтонкие вакуумплотные пленки выходных окон синхротронного, СВЧ-, рентгеновского излучений; подложки интегральных схем, держатели транзисторов, основания резисторов, теплопроводящие элементы в микроэлектронике.

Основные технические характеристики тиглей из высокочистого PyBN

 1. Габаритные размеры

РазмерыЗначение, мм
диаметрдо 150
высота до 200
толщина стенкидо 2

2. Плотность PyBN — 2,26 г/см3

3. Суммарное содержание примесей < 10-3 — 10-4 % вес

4. Содержание основных примесей в PyBN  (% вес)

ПримесиСодержание в PyBN, % вес
Mg1×10-4
Al2×10-4
Si< 3×10-3
S4×10- 4
K< 2×10-3
Ca6×10-4
Ti< 5×10-4
Cr< 5×10-5
Mn< 3×10-5
Fe6×10-4
Co< 3×10-5
Ni< 2×10-5
Cu2×10-4
Zn< 7×10-5
Ge< 5×10-5

5. Удельное электросопротивление — 1019 мком×см  

6. Несмачиваемость расплавами GaAs, Si, Au, Ag.  

7. Возможно нанесение покрытий из PyBN толщиной 0,1-1 мм на внутренние и внешние поверхности изделий сложной конфигурации, в т.ч. тигли и технологическую оснастку из графита, кварца, тугоплавких металлов.