Теxнологическая графитовая оснастка с покрытием из высокоплотного вольфрама

Июль 3rd, 2014

Применение графита в технологической оснастке, используемой для различных высокотемпературных химико-технологических процессов, сдерживается из-за создаваемого им примесного фона, загрязняющего производимую продукцию.

Нами разработаны новые конструкционные материалы на основе графита с защитными покрытиями.

Проведенные промышленные испытания показали, что применение графитового теплового узла с защитным вольфрамовым покрытием всех его элементов при выращивании из расплава монокристаллов арсенида галлия (МАГ) позволяет снизить примесный фон в МАГ (по сравнению с МАГ, выращенным в тепловом узле без покрытия) по углероду, железу, кобальту, меди, хрому, кремнию примерно в два раза (при этом вольфрам в виде примеси в МАГ не обнаружен), а также повысить электрофизические характеристики МАГ и ресурс работы теплового узла.

grafitovaya osnastka

Возможно нанесение покрытий из W, Mo, Ta, BN и других термостойких материалов на детали самой сложной конфигурации, включая резьбовые соединения, глухие отверстия и т.д.

Технические характеристикиЗначение
Габаритные размеры покрываемых деталей, ммДо 400x400x600
Плотность вольфрама, г/см319,2 — 19,25
Суммарное содержание примесей в вольфраме, % веса10-3 - 10-4
Толщина покрытия, мкм30 — 100